MEV

Microscópio Eletrônico de Varredura EVO HD, Zeiss

Este microscópio possui um unidade HD 15 com pressão variável (até 273 Pa), estágio motorizado de 5 eixos compucêntricos, câmera de câmara com iluminação na faixa do infravermelho, copo de Faraday e monitor de corrente da amostra.

O sistema de emissão possui tecnologia de alta definição (HD) com fonte de LaB6.

Detectores: Detector de Elétrons Secundários (SE) para alto vácuo; Detector SE em pressão variável (VPSE); Detector de Elétrons Retroespalhados (BSE) de 5 segmentos de 16mm; Detector STEM; Detector EDS (ver descrição mais abaixo).

Gráfico comparativo da resolução de três diferentes MEVs: EVO HD, MEV conventional (C-SEM) e um Field Emission MEV.

O gráfico mostra a variação da resolução em função da tensão de aceleração dos elétrons. Os dados são para alto vácuo, a resolução também varia com o vácuo.

Acessórios

Detector EDS XFlash 410

Este é um detector de raios-X em energia dispersiva, com área de detecção de 10mm² e resolução de 129eV a Mn Kα.